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與VCSE市場中的一家重要公司進行合作，Unity-SC能夠通過分別出只有利用LIGHTsEE PSD?才能讓缺陷可見的晶圓，來提升前者的良率。
如果不能被檢測出來，那么這些缺陷能夠導致在流程后期/系統交付后出現故障。
法國格勒諾布爾2019年7月18日 /美通社/ -- 過去十年來，由于具有獨一無二的光學和電氣特性，并且具備生產線上測試和可制造性上面的高度優勢，VCSEL（垂直腔面發射激光器）在眾多領域吸引了越來越多的關注。大部分VCSEL基于紅光到紅外波長的砷化鎵晶圓，如今被廣泛地用于激光雷達和3D識別技術。由于汽車領域的應用，激光雷達市場現在迅速發展，對不會出現故障的設備的需求也同步迅速增長。3D傳感也帶來了一個非常大的市場，智能手機制造商現在為進行人臉識別而嵌入此類傳感器。因此，對高品質、高可靠性的砷化鎵檢測系統的需求一直都在增長。
除了常見的掃描表面檢查系統(SSIS)和自動光學檢測(AOI)系統以外，UnitySC還展現了其在檢測其它方法所無法看見的表面形貌缺陷方面的獨特能力。由于不會對光進行散射/吸收，而且只能通過其表面形貌情況來予以識別，這些缺陷在標準光學檢測系統中不可見。雖然這些缺陷對基板本身的結構質量影響不大，但是它們卻能導致在流程后期讓設備出現故障。例如，在生產布拉格(Bragg)光柵反射器期間，這些表面形貌上面的缺陷能夠讓布拉格周期出錯，在某些特定情況下，還會出現應力誘導裂紋。這些故障會在制造過程中或是系統交付后遇熱/遇壓時出現，導致整個系統出現故障。
借助被嵌入LIGHTsEE?系列中的Phase Shift Deflectometry（相移測量偏折術，簡稱“PSD”）技術，這些缺陷能夠被輕松地檢測出來。PSD能夠提供高度靈敏度低于5納米的整片非接觸式高吞吐量解決方案。由于無需移動基板就能進行檢測，新技術不會產生應力，而且適用于任何脆弱的基板。
這種技術在一位主要VCSEL制造商上面進行了展示，并能通過系統性地抑制由此類缺陷所影響的裸片問題，展現出良率的提升和設備故障率的降低。因此，通過在未來的質量控制中使用PSD，VCSEL制造商就能進一步提升他們的良率，改進他們的供應鏈。
