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上海2013年6月17日電 /美通社/ -- 盛美半導體設備（上海）有限公司接獲SK海力士半導體（中國）有限公司的一臺12英寸8腔SAPS兆聲波單片清洗設備訂單，預計7月中旬交貨。這是暨2013年年初至今，盛美獲得的第7臺清洗設備訂單，也是暨2011年獲得韓國海力士清洗設備后的重復訂單。
“盛美已經進入快速成長期，該重復訂單的獲得，證明了韓國一流半導體制造廠商對盛美單片清洗設備優越清洗性能以及大生產線上運行可靠性的肯定?！笔⒚腊雽w設備公司的創始人、首席執行官王暉博士說，“我們將繼續擴展國內外客戶群，有信心使SAPS兆聲波這一個具有差異性的清洗技術在28納米以下技術節點成為行業主流技術?！?/p>
這臺單片清洗機裝備了盛美的SAPS（Space Alternated Phase Shift）空間交變相移技術，以及三種獨立化學液的供液系統。可去除傳統清洗方法無法去除的微小顆粒以及化學煙霧沉積，從而在清洗后芯片良率上獲得較大提升。
關于盛美
盛美半導體設備公司于1998年在美國硅谷成立，致力于研究無應力拋光與鍍銅設備。2006年9月盛美開始在亞洲發展，并與上海創投一起成立盛美半導體上海合資公司。公司坐落在上海張江高科技園區，進行研究、開發、工程設計、制造 、以及售后服務。盛美精于濕式的半導體設備：無應力拋光、鍍銅、與兆聲波單片清洗設備。盛美具有完整的自主知識產權，已經獲得60多個國際專利，還有100多個專利正在申請中。盛美可以為客戶提供可靠的先進技術解決方案以及世界一流的售后服務，降低設備的擁有成本。
